Macro- and Microsimulations for a Sublimation
Growth of SiC Single Crystals

Jürgen Geiser; Stephan Irle

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Publikationsart:	Artikel
Autor(en):	Jürgen Geiser; Stephan Irle
Titel:	Macro- and Microsimulations for a Sublimation Growth of SiC Single Crystals
Erschienen in:	Mathematical Problems in Engineering Volume 2009 2009 S. 1-12 http://www.hindawi.com/journals/mpe/
ISSN:	1563-5147
DOI:	10.1155/2009/716104
Erstveröffentlichung:	2009
Einreichung:	03.09.2008
Veröffentlichung auf edoc:	06.07.2009
Status:	published peer_reviewed
Volltext:	pdf (urn:nbn:de:kobv:11-10099138)
Fachgebiet(e):	Mathematik
Einrichtung:	Humboldt-Universität zu Berlin, Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät II
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Abstract (eng):

The numerous technical applications in electronic and optoelectronic devices, such as lasers, diodes, and sensors, demand high-quality silicon carbide (SiC) bulk single crystal for industrial applications. We consider an SiC crystal growth process by physical vapor transport (PVT), called modified Lely method. We deal with a model for the micro- and macroscales of the sublimation processes within the growth apparatus. The macroscopic model is based on the heat equation with heat sources due to induction heating and nonlocal interface conditions, representing the heat transfer by radiation. The microscopic model is based on the quantum interatomic potential and is computed with molecular dynamics. We study the temperature evolution in the apparatus and reflect the growth behavior of the microscopic model. We present results of some numerical simulations of the micro- and macromodels of our growth apparatus.

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