edoc-Server der Humboldt-Universität zu Berlin

Band einer Schriftenreihe

Autor(en): Jürgen Geiser
Titel: Modeling for Chemical Vapor Deposition – Meso- and Microscale Models
Erscheinungsjahr: 2008
Erschienen in: Preprints aus dem Institut für Mathematik  1 (Mathematik-Preprints)
ISSN: 0863-0976
Volltext: pdf (urn:nbn:de:kobv:11-100190685)
Fachgebiet(e): Mathematik
Schlagwörter (eng): Chemical vapor deposition, multi-scale problem, convection-diffusion equations
Herausgeber: Humboldt-Universität zu Berlin, Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät II, Institut für Mathematik
Metadatenexport: Um den gesamten Metadatensatz im Endnote- oder Bibtex-Format zu speichern, klicken Sie bitte auf den entsprechenden Link. Endnote   Bibtex  
print on demand: Wenn Sie auf dieses Icon klicken, können Sie ein Druckexemplar dieser Publikation bestellen.
Diese Seite taggen: Diese Icons führen auf so genannte Social-Bookmark-Systeme, auf denen Sie Lesezeichen anlegen, persönliche Tags vergeben und Lesezeichen anderer Nutzer ansehen können.
  • connotea
  • del.icio.us
  • Furl
  • RawSugar

Abstract (eng):
In this paper we present modeling and simulation for chemical vapor deposition (CVD) on metallic bipolar plates. In the models we discuss the application of different models to simulate the plasma-transport of chemical reactants in the gas chamber. We take into account one-dimensional models, that can be treated analytically under some assumptions and multi-dimensional models that are solved numerically with software packages. Because of the multi-scaling problem of the physical behavior, we discuss adapted models in different domains and scales. The near- and far-field contexts are based on large scales that can be treated with continuous models, such as convection-diffusion-reaction equations, and small scales that are based on chemical and molecular models, e.g. Boltzmann-equations. The results are discussed with physical experiments to give valid models for the assumed growth of thin layers.
Zugriffsstatistik: Die Daten für die Zugriffsstatistik der einzelnen Dokumente wurden aus den durch AWStats aggregierten Webserver-Logs erstellt. Sie beziehen sich auf den monatlichen Zugriff auf den Volltext sowie auf die Startseite. Die Zugriffsstatistik wird nicht standardisiert erfasst und kann maschinelle Zugriffe enthalten.
 
Bei Formatversionen eines Dokuments, die aus mehreren Dateien bestehen (insbesondere HTML), wird jeweils der monatlich höchste Zugriffswert auf eine der Dateien (Kapitel) des Dokuments angezeigt.
 
Um die detaillierten Zugriffszahlen zu sehen, fahren Sie bitte mit dem Mauszeiger über die einzelnen Balken des Diagramms.
PDF: 1 Zugriffe PDF: 1 Zugriffe PDF: 1 Zugriffe PDF: 1 Zugriffe PDF: 16 Zugriffe PDF: 7 Zugriffe PDF: 5 Zugriffe Startseite: 1 Zugriffe PDF: 8 Zugriffe PDF: 7 Zugriffe PDF: 5 Zugriffe PDF: 10 Zugriffe PDF: 3 Zugriffe PDF: 4 Zugriffe PDF: 4 Zugriffe PDF: 8 Zugriffe PDF: 9 Zugriffe PDF: 8 Zugriffe PDF: 12 Zugriffe PDF: 2 Zugriffe PDF: 3 Zugriffe Startseite: 2 Zugriffe PDF: 4 Zugriffe PDF: 3 Zugriffe
Dec
11
Apr
12
May
12
Jul
12
Sep
12
Oct
12
Nov
12
Dec
12
Jan
13
Feb
13
Mar
13
Apr
13
May
13
Jun
13
Jul
13
Aug
13
Sep
13
Oct
13
Nov
13
Dec
13
Jan
14
Feb
14
Mar
14
Apr
14
May
14
Jun
14
Monat Dec
11
Jul
12
Nov
12
Dec
12
Jan
13
Feb
13
Mar
13
Apr
13
May
13
Jun
13
Jul
13
Aug
13
Sep
13
Oct
13
Nov
13
Dec
13
Jan
14
Feb
14
Mar
14
Apr
14
May
14
Jun
14
Startseite               1                         2  
PDF 1 1 1 1 16 7 5 8 7 5 10 3 4 4 8 9 8 12 2 3 4 3

Gesamtzahl der Zugriffe seit Dec 2011:

  • Startseite – 3 (0.2 pro Monat)
  • PDF – 122 (4.69 pro Monat)
 
 
Generiert am 22.07.2014, 09:27:29