2010-11-26Dissertation
Benchmarking surface signals when growing GaP on Si in CVD ambients
Döscher, Henning
Diese Arbeit untersucht das Aufwachsen von dünnen GaP-Schichten auf Si(100)-Oberflächen mittels metallorganischer Gasphasenabscheidung (MOVPE) und die damit verbundene Entstehung von Antiphasendomänen (APDs). Die Vermessung ...
