TY - EBOOK T1 - Porous Media Based Modeling of parallel Plate PE-CVD Apparatus AU - Geiser, Jürgen AU - Arab, M. PY - 2011 LA - eng PB - Humboldt-Universität zu Berlin, Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät II, Institut für Mathematik DO - http://dx.doi.org/10.18452/2832 ER -