2019-07-16Bachelorarbeit
Reactive ion etching of InP-based quantum cascade lasers
La Penna, Irene
In der vorliegende Arbeit wird die Technik des Trockenätzen in Bezug auf der Herstellung von aus InP basierten Quantenkaskadenlasern untersucht.
In einem ersten Kapitel werden die Prinzipien des Ätzmechanismus sowie der ...